分子泵可以任意角度安裝嗎

分子泵對(duì)安裝角度的要求主要是基于其潤(rùn)滑方式，一些采用油潤(rùn)滑的分子泵僅可以豎直安裝。安捷倫的渦輪分子泵采用潤(rùn)滑脂進(jìn)行潤(rùn)滑，可以任意方向安裝，并在豎直，水平和倒扣等方向進(jìn)行過耐用性測(cè)試。

我需要安裝進(jìn)氣口濾網(wǎng)嗎？

進(jìn)氣口濾網(wǎng)不是必須的，您需要根據(jù)您的實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行評(píng)估。安裝進(jìn)氣口濾網(wǎng)后，可以防止真空系統(tǒng)的碎屑（如焊渣、鐵屑、玻璃碴等）損壞分子泵的葉片，但是泵的有效抽速會(huì)顯著減小。

分子泵工作時(shí)需要安裝冷卻套件嗎

渦輪分子泵在壓縮氣體時(shí)會(huì)產(chǎn)生熱量，不同的工藝條件（工作壓力、氣體流量、氣體類型、環(huán)境溫度等），需要選擇不同的冷卻方式，例如，長(zhǎng)期工作在極限真空下的分子泵，采用自然對(duì)流冷卻即可；工作在較高壓力或者發(fā)熱較大的應(yīng)用的分子泵，可以采用強(qiáng)制風(fēng)冷或水冷。下面這個(gè)簡(jiǎn)短的視頻演示了如何為安捷倫分子泵安裝風(fēng)冷或水冷套件。

我可以在低溫下啟動(dòng)分子泵嗎

在低溫下，軸承潤(rùn)滑劑具有很高的粘度（低潤(rùn)滑作用），可能導(dǎo)致軸承潤(rùn)滑不良和分子泵啟動(dòng)電流過大。即使泵看起來啟動(dòng)正常，也可能會(huì)對(duì)軸承造成一定的損傷，長(zhǎng)期來看，這將影響泵的可靠性。安捷倫分子泵允許的正常工作溫度范圍是5-35攝氏度，在環(huán)境溫度低于5攝氏度時(shí)，需要采取一定的加溫措施。

我是否需要為分子泵安裝吹掃套件

如果應(yīng)用的工藝涉及腐蝕性氣體或存在灰塵、顆粒，安捷倫建議在渦輪分子泵上安裝軸承吹掃套件，將少量（10或20 sccm）中性氣體（一般使用氮?dú)猓┲苯虞斔偷綔u輪分子泵內(nèi)部，并形成一個(gè)從軸承到排氣口的氣流，以防止灰塵顆粒和腐蝕性氣體接觸軸承。

如何為分子泵選擇前級(jí)泵

前級(jí)泵對(duì)于充分發(fā)揮渦輪分子泵的性能非常重要。安捷倫的真空產(chǎn)品選型手冊(cè)為各個(gè)渦輪分子泵型號(hào)匹配的前級(jí)泵提供了具體建議，采用推薦的前級(jí)泵可以為渦輪分子泵提供合適的前級(jí)壓力。有的型號(hào)推薦了多款前級(jí)泵，用戶可以根據(jù)具體的工藝進(jìn)行選擇：腔體很大、需要頻繁粗抽，工作壓力較高或者氣載比較大的應(yīng)用，選擇抽速較大的前級(jí)泵；反之選擇抽速較小的前級(jí)泵。

在分子泵和前級(jí)泵之間是否需要閥門

一般的應(yīng)用可以不用安裝。不過對(duì)于超高真空的應(yīng)用，或者意外破空會(huì)造成很大損失的應(yīng)用，安捷倫強(qiáng)烈建議在渦輪分子泵和前級(jí)泵之間安裝隔離閥，以防止在意外斷電時(shí)系統(tǒng)真空被破壞。安捷倫有一種在斷電時(shí)快速關(guān)閉，供電恢復(fù)后直到前級(jí)泵真空度足夠好時(shí)才打開的VPI安全閥，部分安捷倫干泵還擁有集成于泵內(nèi)的VPI安全閥。

對(duì)真空室進(jìn)行粗抽時(shí)氣流可以通過分子泵嗎

粗抽時(shí)的粉塵或顆粒物有可能被攜帶到分子泵內(nèi)部從而造成故障，而用于保護(hù)軸承的迷宮式密封結(jié)構(gòu)也僅在轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)才起作用。因此，如果真空室內(nèi)有粉塵、顆粒或者腐蝕性氣體，應(yīng)該通過單獨(dú)的管路對(duì)真空室進(jìn)行粗抽，而不要通過停止的渦輪分子泵。在粉塵很多或者有腐蝕性氣體的應(yīng)用中，請(qǐng)始終使用吹掃功能。

我可以在有磁場(chǎng)的環(huán)境使用分子泵嗎

渦輪分子泵在磁場(chǎng)中工作時(shí)，其轉(zhuǎn)子切割磁感線會(huì)感應(yīng)出渦流，渦流會(huì)產(chǎn)生熱量使轉(zhuǎn)子溫度上升，并且增加分子泵的功率消耗。渦流效應(yīng)的大小取決于磁場(chǎng)的強(qiáng)度、持續(xù)時(shí)間和方向，安捷倫渦輪分子泵持續(xù)工作時(shí)可承受的最大磁場(chǎng)值為：徑向50高斯，軸向100高斯，高于該數(shù)值時(shí)，可能需要在泵的周圍安裝磁屏蔽擋板。

如何正確的停止分子泵

在高真空時(shí)，由于阻力很小，分子泵在電源關(guān)閉后，仍然會(huì)持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)很長(zhǎng)時(shí)間，在泵的轉(zhuǎn)速降至足夠低之前，如果腔體突然破空，可能造成分子泵嚴(yán)重的損壞。為了快速安全的停泵，通常使用泵身自帶的手動(dòng)破空螺釘對(duì)泵緩慢破空，也可以用特制的電磁閥取代手動(dòng)破空螺釘進(jìn)行自動(dòng)破空。安捷倫渦輪分子泵有標(biāo)準(zhǔn)的破空電磁閥可以選配，該閥可以通過分子泵控制器自動(dòng)控制，其流量可以保證泵在盡量短的時(shí)間內(nèi)安全停機(jī)。

部分安捷倫分子泵還帶有電磁剎車功能，利用電磁制動(dòng)，無需破空就可以在高真空下快速停機(jī)。

安捷倫分子泵是完全無油的嗎

安捷倫分子泵采用創(chuàng)新的無油陶瓷軸承技術(shù)，使用特殊的潤(rùn)滑劑進(jìn)行潤(rùn)滑，該潤(rùn)滑劑的飽和蒸氣壓非常低，并且不含任何碳?xì)浠衔铮员苊鈱?duì)真空系統(tǒng)的污染。下圖是油潤(rùn)滑的渦輪分子泵與安捷倫分子泵殘余氣體分析的結(jié)果對(duì)比：

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