微調閥用于精密的控制微小的流量（或泄漏率），以調節(jié)系統(tǒng)真空度或滿足其它特殊的工藝需求。

安捷倫藍寶石密封精密微調閥最小可控制 1E-10 mbarl/s (std cc/s, sccs) 的微小流量，可用于壓力低至 1E-11 mbar 的超高真空環(huán)境，并耐受高達 450 攝氏度的烘烤。

工作原理

該微調閥內部有一塊具有光學級平面的藍寶石（Sapphire），和一套精密的位置調整機構。位置調整機構由一個精密細牙螺桿和一個高倍率杠桿機構組成，該機構的省力倍數(shù)高達13,000:1，可以非常精密的調整藍寶石的平面和與其相對的金屬墊之間的距離，從而調整通過他們之間的流量，或者形成完全無摩擦、無咬合和無斷裂的密封。

閥門調整機構

閥門內部的藍寶石和與其相對的金屬墊片緊密貼合之后，閥門就處于關閉狀態(tài)。已經處于關閉狀態(tài)的閥門不可以再繼續(xù)擰緊，否則會造成螺紋或者藍寶石閥頭損壞。為了避免此類現(xiàn)象發(fā)生，閥門在出廠時已經設置好了停止位置，即兩個圓螺母（NOBS）已經鎖緊在調整螺桿（FINE DRIVE SCREW）的某一點上，使得閥門在關閉后無法再繼續(xù)擰緊。使用時請捏住兩個螺母一起轉動（順時針流量減小，逆時針流量增大），不要隨意將它們松開或調整位置。

若閥門使用一段時間后出現(xiàn)擰到最緊后仍然無法密封，或者想把停止位置設定為某一個固定的流量（漏率），可以參考使用說明書，并按照說明書中描述的步驟進行調整。

使用注意事項

微調閥的調整螺紋為精密細牙螺紋，大力旋轉或者螺紋處潤滑不良時會造成螺紋損壞，請小心調整并定期涂抹附送的潤滑脂。該潤滑脂為可以耐受烘烤的高溫潤滑脂，請勿用其它潤滑脂替代。

當需要對關閉狀態(tài)的閥門進行烘烤時，有可能需要重新設置停止位置（請參見說明書“烘烤程序”一節(jié)）。

當微調閥的流量低于 1E-9 mbarl/s 時，可凝蒸氣和污染物有可能會堵塞閥內的微小間隙。對此類應用，微調閥必須在開啟狀態(tài)下真空烘烤至 250° 并保持30分鐘，以去除內部吸收的蒸氣。

對于 4E-10 mbarl/s 以及更低的流量，除上述烘烤外，通過微調閥的氣體必須不含可凝性蒸氣，或者通過干燥裝置（比如液氮冷阱）對進氣進行處理后再接入微調閥。分子篩捕集阱也可用于干燥氣體，但必須使用過濾器以確保沒有篩子顆粒進入微調閥。

環(huán)境溫度的變化會引起流量（泄漏率）的變化（溫度升高時，泄漏率增加），如果泄漏率的變化對您正在進行的實驗來說是不可接受的，就應該使用一些溫度控制的手段——將閥門加熱并將其溫度維持在略高于最高室溫的某個值。

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