從上世紀60年代上市以來，安捷倫（即原瓦里安，下同）擴散泵一直口碑很好。很多用戶采購新的真空爐或鍍膜機等設(shè)備時，會指定安捷倫的型號，也有很多用戶——特別是同時有安捷倫和其它擴散泵的客戶——聯(lián)系安捷倫，要求用安捷倫的擴散泵替換其舊設(shè)備上的其它品牌的擴散泵。

擴散泵的原理和結(jié)構(gòu)

擴散泵是一種蒸氣射流泵, 泵油被加熱后產(chǎn)生油蒸汽，油蒸汽從傘形噴嘴高速噴出，射流上方的氣體擴散到射流內(nèi)并被高速的大分子油蒸汽攜帶到泵壁。由于泵壁溫度較低，油蒸汽接觸到泵壁后會迅速液化，被攜帶的永久氣體繼續(xù)向下一級射流擴散并被攜帶至更下一級，直至最后被前級真空泵抽走。一般的擴散泵有3到5級傘形噴嘴，有的擴散泵還會增加一級側(cè)向的噴射噴嘴，噴射噴嘴可以提高擴散泵在較高壓力下工作的能力（抽速和前級耐壓）。

擴散泵無法取代的獨特優(yōu)勢

擴散泵功耗很大，并且使用時需要大量的冷卻水，卻還被如此廣泛的使用，主要原因有下面幾點：

具有最優(yōu)的抽速/價格比；

抽速大、可以處理巨大的氣體流量；

沒有活動部件，高可靠、維護少，壽命長。

由于沒有活動部件，擴散泵的結(jié)構(gòu)非常簡單直觀，所以各種規(guī)模和技術(shù)水平的公司都能生產(chǎn)，但其抽氣原理卻又非常復(fù)雜，并且看不見摸不著，這就造成了很多公司的產(chǎn)品只能停留在比葫蘆畫瓢的初級階段，產(chǎn)品性能不能持續(xù)提高，穩(wěn)定性也無法保證。因此，很多有經(jīng)驗的用戶在采購使用擴散泵的真空設(shè)備時通常會指定品牌，比如安捷倫。

安捷倫擴散泵特點一

抽氣快（壓力降的快）

與擴散泵相比，前級泵（如羅茨泵）的抽速一般都會比較小，而且，在接近可以開啟擴散泵的壓力時其抽速又會很明顯的下降，所以這個壓力段是好多真空設(shè)備真空泵抽速的瓶頸。安捷倫擴散泵獨特的噴塔設(shè)計使其可以開始抽氣的壓力和到達滿抽速的壓力都比較高，這樣，在前級泵抽速開始下降的階段就可以更早的以更大的抽速介入，使真空設(shè)備的壓力可以很多的下降。

安捷倫擴散泵特點二返油少

擴散泵的返油主要發(fā)生在高壓力段，即剛剛開始工作的時候。要降低返油率，需要盡可能的縮短在此時間段停留的時間，安捷倫的擴散泵高返油段抽的快是其返油率低的第一個原因。第二個原因是其分餾噴塔的設(shè)計。擴散泵工作時，從噴塔高速噴射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并從油池邊緣向中心流動，在流動的過程中，油的溫度逐漸升高，油中沸點比較低的小分子組分，在靠近油池邊緣的地方就會汽化，而沸點比較高的大分子組分，則會在靠近油池中心的地方汽化。一般的擴散泵噴塔各級噴嘴之間是互相聯(lián)通的，而安捷倫擴散泵的噴塔各級噴嘴彼此獨立，特別是第一級噴塔，只有沸點最高的大分子油蒸汽才會從這里噴出，這一特點不僅擴散泵極限真空很好，而且由于高沸點的泵油更不容易二次揮發(fā)，使得泵的返油率很低。

 另外，受熱均勻的加熱器設(shè)計（泵油不易裂解）和標配的水冷帽（擋油效率高）等，也都為安捷倫擴散泵的低返油率貢獻了力量。

安捷倫擴散泵特點三

 

用冷卻水少，對冷卻水溫度要求不高

與普通的擴散泵相比，同樣規(guī)格的泵，安捷倫擴散泵僅需要50%甚至更低的冷卻水流量。而且，安捷倫擴散泵對冷卻水的溫度要求不高，只要保證排放溫度不高于54度即可，當(dāng)水壓較低或最高排水溫度高于54度時，還可以采用將冷卻水管并聯(lián)的方式擴展使用區(qū)間。

安捷倫擴散泵特點四

維護簡單，皮實耐用不愛壞

擴散泵內(nèi)部沒有活動部件，與機械式真空泵的磨損失效不同，其工作失效的原因主要有泵油劣化、加熱器損壞、噴塔被油垢污染等等。安捷倫擴散泵獨特的管狀加熱器和壓緊結(jié)構(gòu)設(shè)計，擁有很高傳熱效率的同時，又保證了泵油和加熱器本身都沒有過熱點，泵油不容易裂解，加熱器也不容易損壞；同時，精細的熱傳導(dǎo)和保溫結(jié)構(gòu)設(shè)計，也使熱損失大大降低。

對使用過的安捷倫擴散泵做過保養(yǎng)的客戶都會有一種印象，與別的擴散泵經(jīng)常會結(jié)滿黑黑的油垢不同，安捷倫的擴散泵噴塔往往在使用好幾年后也非常干凈，有客戶甚至猜測安捷倫的擴散泵噴塔使用了類似不粘鍋的涂層。其實，這主要是因為安捷倫擴散泵噴塔上獨特的防焦化擋板設(shè)計——在每一級噴嘴的上方，都會有一個與下面的噴塔點接觸的罩子，該罩子的溫度比噴塔低很多，所以，從上方滴下的油滴就不會落到高溫的泵塔上焦化結(jié)垢，而是滴落在低溫的擋板上，這就保證了安捷倫擴散泵的噴塔可以一直很干凈，不用定期費時費力清洗。

 

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