什么時(shí)候應(yīng)該選擇離子泵

離子泵具有封閉抽氣、可耐高溫烘烤、沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件，長(zhǎng)期工作的可靠性高、在超高真空下的壽命很長(zhǎng)等特點(diǎn)，這些特點(diǎn)使得其特別適合用于：超高真空、需要高溫烘烤的應(yīng)用、對(duì)振動(dòng)敏感的應(yīng)用、對(duì)可靠性要求很高的應(yīng)用等。

應(yīng)該選擇二極泵還是三極泵

型號(hào)的選擇取決于被抽氣體類(lèi)型。安捷倫 Diode 二極泵對(duì)氧氣 、氮?dú)?、二氧化碳 、一氧化碳以及其他活性氣體具有很高的抽速，而對(duì)甲烷、氬氣和氦氣等非活性氣體抽速很小，適用于工作在超高真空，很少破空并且沒(méi)有惰性氣體的應(yīng)用。

StarCell 是優(yōu)化的三極泵結(jié)構(gòu)，對(duì)甲烷、氬氣和氦氣等非活性氣體具有很高的抽速和容量，同時(shí)對(duì)活性氣體也具有較高的抽速；該型號(hào)的獨(dú)特設(shè)計(jì)使其成為一款可以同時(shí)處理惰性氣體和活性氣體的離子泵，適用于經(jīng)常破空或者有惰性氣體殘留的應(yīng)用。

如何確定需要負(fù)高壓還是正高壓的控制器

安捷倫 Diode 二極離子泵在正高壓下運(yùn)行，StarCell 三極離子泵在負(fù)高壓下運(yùn)行。

應(yīng)該在什么壓力啟動(dòng)離子泵？

離子泵的最高啟動(dòng)壓力可以從產(chǎn)品樣本上找到，不過(guò)為了盡量延長(zhǎng)離子泵的使用壽命，建議在 1E–6 mbar 或更低壓力時(shí)啟動(dòng)離子泵。

離子泵的壽命與操作壓力成反比。比如，在 1E–6 mbar 時(shí)，大部分安捷倫二極離子泵的使用壽命為 50,000 小時(shí)， StarCell 離子泵的使用壽命為 80000 小時(shí)，而在1E-4 mbar 時(shí)，壽命僅為上面數(shù)值的 1/100 。

是否需要為離子泵安裝加熱器

為了使真空室達(dá)到更低的極限壓力，建議在離子泵上安裝加熱器，在泵啟動(dòng)前的預(yù)抽階段對(duì)泵進(jìn)行烘烤，烘烤可以加快離子泵中所捕獲的氣體的釋放，使泵從飽和狀態(tài)回到不飽和狀態(tài)。

能否更換離子泵內(nèi)的抽氣單元

由于成本和空間的限制，一般比較小的離子泵的抽氣單元是無(wú)法取出更換的。安捷倫生產(chǎn)的 150 L/s 及以上的離子泵可以單獨(dú)更換泵內(nèi)的抽氣單元。

用于微型離子泵和小型離子泵的磁體為何需要單獨(dú)訂購(gòu)

磁體是單獨(dú)提供的，因?yàn)楦鼡Q離子泵后，磁體可以重復(fù)使用。

能否將離子泵當(dāng)作真空計(jì)，讀取真空室內(nèi)的真空度

安捷倫 4UHV 和 IPCMini 控制器的預(yù)設(shè)程序會(huì)自動(dòng)將任意離子泵的當(dāng)前電流讀數(shù)轉(zhuǎn)換為壓力。它們的高電流分辨率（4UHV 為 10 nA，IPCMini 為 1 nA）可確保在低壓范圍內(nèi)得到準(zhǔn)確讀數(shù)。將離子泵用作真空計(jì)的最佳方式是，向泵施加低電壓 (3 kV)，以減少漏電流的影響。

4UHV 和 IPCMini 離子泵控制器使用的是哪種遠(yuǎn)程通訊

標(biāo)準(zhǔn) 4UHV：RS232/485 和 I/O 信號(hào)。還可以定制 Profibus 和以太網(wǎng)版本。

標(biāo)準(zhǔn) IPCMini：RS232/485，I/O 信號(hào)。可以定制以太網(wǎng)版本。

什么是 Step 模式？

為優(yōu)化離子泵的抽速，最大程度減小漏電流的影響，安捷倫為離子泵控制器開(kāi)發(fā)了 Step 模式。該模式下控制器可以根據(jù)離子泵消耗的電流和離子泵大小，將電壓自動(dòng)切換至 3kV、5kV 或 7 kV。

如何選擇離子泵控制器的功率

離子泵工作所需要的功率跟壓力和泵的大小有關(guān)。較大的泵在較高壓力啟動(dòng)時(shí)，需要使用功率更高的控制器，如 4UHV（80 或 200 W）；較小的泵在較低壓力啟動(dòng)時(shí)，使用功率較小的控制器即可，如 IPCMini (40 W)。

比如，在 10–5 mbar 下使用 200 W 可以輕松啟動(dòng) 500 L/s 的離子泵。而對(duì)于中等大小的離子泵 (75 L/s)，只需不到 80 W 即可在相同壓力下啟動(dòng)。40 W 的功率可以使 75 L/s 的離子泵在 10–6 mbar 下輕松運(yùn)行，或在典型離子泵運(yùn)行范圍內(nèi)（低于 1 × 10–6 mbar）操作 500 L/s 的離子泵。

能否提供比標(biāo)準(zhǔn)電纜更長(zhǎng)的電纜

可以。請(qǐng)聯(lián)系安捷倫真空了解更多詳細(xì)信息。

為何選擇 TSP（鈦升華泵）/NEG（吸氣劑泵）復(fù)合離子泵

由于鈦升華泵或吸氣劑泵可以提供很大的抽速，在 UHV 系統(tǒng)中，通常使用鈦升華泵或者吸氣劑泵作為泵送活性氣體（如氦氣和氮?dú)猓┑挠行侄?，但是，鈦升華泵或者吸氣劑泵對(duì)非活性氣體（如氬氣和甲烷）幾乎沒(méi)有抽速。由于 Starcell 三極離子泵對(duì)非活性氣體有較好的抽氣作用，通常將 TSP 或 NEG 與 Starcell 結(jié)合使用。安捷倫可以提供與鈦升華泵復(fù)合的 CombiTSP 離子泵或與吸氣劑泵復(fù)合的 CombiNEG 離子泵。

吸氣劑復(fù)合型離子泵和鈦升華泵復(fù)合型離子泵怎么選

兩者都可以大大提高離子泵對(duì)活性氣體的抽速，主要區(qū)別是吸氣劑復(fù)合型離子泵尺寸更緊湊，但是可以破大氣的次數(shù)有限，適合長(zhǎng)期（半年以上）保持超高真空的應(yīng)用；而鈦升華泵復(fù)合型離子泵破大氣后不會(huì)影響泵的壽命，更適合需要經(jīng)常破大氣（平均每3個(gè)月或更短時(shí)間破1次）的應(yīng)用。

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